主动除振系统-努美（北京）科技有限公司

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主动消振系统
Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以最大限度地提高工具吞吐量。

更新时间：2024-06-17
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气浮综合性主动隔振系统
气浮综合性主动隔振系统 LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常，光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效，但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。

更新时间：2024-06-17
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SEM主动隔振平台
SEM主动隔振平台 SEM-Base-LP采用了我们*特的STACIS压电技术，具有与我们的行业标准SEM-Base-VI相同的振动消除性能。SEM-Base-LP包括脚轮，专门设计用于与许多赛默飞世尔科技（前身为FEI）工具集成。

更新时间：2024-06-17
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SEM主动隔振平台
SEM主动隔振平台 SEM-Base®VI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜（SEM）以及许多聚焦离子束（FIB）和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更强大的控制器和高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI使许多实验室和设施达到了满足工具制造商规格所需的地面振动水平。

更新时间：2024-06-17
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TMC地面式主动隔振光学平台
TMC地面式主动隔振光学平台，对于传统的实验室地面，隔离高大工具的建筑地面振动是一个人体工程学领域的挑战。将隔振器直接放置在工具下方可能会将工具抬高到一个不切实际的高度。此外，传统空气隔振器放置在一个较高、上重下轻的有效载荷之下时不稳定。

更新时间：2024-06-17
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TMC地面式主动隔振平台
TMC地面式主动隔振平台采用STACIS - TMC业界*先的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。

更新时间：2024-06-06
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TMC主动隔振平台
TMC主动隔振平台 STACIS IIIc是STACIS III高级主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。 STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。

更新时间：2024-06-06
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TMC主动隔振平台
TMC主动隔振平台 STACIS® III是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。

更新时间：2024-06-06
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