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从工作原理去了解主动隔振台

发布时间:2022-08-19 点击次数:1521
   主动隔振台是由电气进行控制,通过反向力进行消除振动,通过传感器进行检测振动的频率,持续产生振动的隔离状态,有效进行消音作用。而被动隔振台是由机械的装置进行控制,利用弹簧的弹性体进行有效减少振动,这一系列的流程是由气动系统实现的。
  
  工作原理:
  安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响,有效的解决方案则是使用隔振台(减振台),以便营造适合该设备的条件。使用电气控制,通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动,并基于该信息,执行器沿相反方向产生作用力,并继续产生的振动隔离状态。它擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。
  内部结构有弹簧零件,主要目的是利用可变形的作用进行吸收能量,从而减少设备上的振动,虽然效果很好,但共振放大之后就会有些严重;除此之外,还有橡胶材质,跟弹簧的一样,主要是通过变形吸收热量,不同的是,橡胶能吸收各个方向的;就是一个气动平台的系统,通过压缩空气活塞来减少地面的振动。
  
  主动隔振台采用的隔振技术,适用于任何研究情况下,可以隔离6个自由度方向上的振动,包括水平和垂直方向。平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动,通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,然后改换能器产生一个与传入压力大小相等,相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜,光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动,提供稳定的测试环境。
  
  应用范围:
  超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)
  光刻工具
  高精度计量工具
  光谱仪器

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